一．人员管理
1．进入生产车间的人员
（1） 必须根据工作岗位需要，尽量减少人员进入。100级间人员密度不大
于0.1人/m2, 低于100级洁净度的，人员密度不大于0.25人/m2。
（2）一切人员进入，均需遵循规定的净化流水线和程序，不得私自更改。
（3）必须换专用拖鞋，方可进入洁净区；进入百级和万级间，必须换上专
用帆布鞋（因为拖鞋在走动时易扬起地面尘粒）。
（4）外衣和洁净工作服分框存放，入室人员禁止未脱外衣即进入洁净服更
衣间。
（5）进入洁净区前，要将拖鞋在洁净器（垫）上，或湿的垫子上擦拭。
（6）进入人员要经过风淋室，并按规定关好门后，在风淋室内举起双臂，
将身体慢慢地旋转1-2圈。
（7）进入洁净区，必须根据需要随时净手，净手后再换上工作服。
（8）洁净过的手要用洁净烘干器吹干，或用发尘量低的纸巾擦干。
（9）要以站立姿势穿工作服，不要使工作服碰地板、工作台等可能有灰尘
的东西，并换上帆布鞋。
（10）不能赤手操作已被净化过的零件、产品和包装材料，必须戴上洁净手
套或指套才能进入洁净室操作。
（11）出洁净生产车间时，不需要经过风淋室。
（12）进入准备区的更衣室后，首先脱鞋，再换下洁净服。
（13）脱帽、换衣时，同样不要碰地面等可能带尘的地方。
（14）不能穿洁净服上厕所（洁净厕所除外），上厕所按以上出入洁净车间
的程序处理。
（15）参观人员一般只能进入洁净走廊，通过窗户参观，如需进入车间，其
出入要求同工作人员一样，但每批次不宜超过5人。
2．不得进入生产车间的人员
具有下列情况者，不能进入洁净室：
（1）与生产无关的人员；
（2）皮肤有晒焦、剥离、外伤和炎症、瘙痒症者；
（3）对化学纤维、有机溶剂有过敏反应者；
（4）手汗严重者（汗液中的盐份是半导体器件严重危害的钠锂子污染源）；
（5）鼻子排出物过多者；
（6）感冒、咳嗽和打喷嚏者；
（7）过多掉头皮、头发者；
（8）有搔头、挖鼻孔、摸脸、搓皮肤等习惯者；
（9）没有按规定洗去化装品、指甲油和没按规定穿洁净工作服者。
3．日常注意事项
（1）争取每天冲澡、换衣、经常洗头，保证身体清洁。
（2） 男子尽量每日刮胡须，经常洗手，剪指甲。洗手后搽洁净室用润肤膏，
以防皮肤干裂。
（3）不接触易使皮肤干裂、剥脱的粉类或溶剂。
（4）在洁净室内动作要轻。
（5）在洁净室内不要拖足行走，不要振臂。不做不必要的动作或走路。
（6）洁净室内禁止吸烟和饮食。
（7）不准在洁净室内拉开洁净服拉链。
（8）一切操作都在洁净气流的上流侧进行，重要操作还要在洁净工作区内
进行，避免受到交叉污染。
（9）手动工具、器具、笔记本等用品必须放回有盖的盒子里。
4．出入洁净室时的一般要求
（1）没按规定经过洁净处理的物品不得带入洁净生产车间。
（2）普通纸和笔不能带入洁净室，使用的必须是塑料薄膜纸和圆珠笔。
（3） 一切个人物品，包括钥匙、手表、手帕、笔记本等，均不得带入洁净
室。
（4） 对上、下午进入洁净生产车间的人数、时间要分别登记。
二．用具、设备的选择与管理
1．净鞋器必须对鞋的整个表面，特别是鞋底和后跟前处有较高的吸尘效果；
2．必须定期清除净鞋器中积存的污物，下雨或湿度大的天气尤其要注意；
3．沾鞋垫必须定期更换或再生。或者定期剥去表面已沾污的薄层、湿垫子必
须每日清洗；
4．洗手器的水龙头要用脚踏式，避免用手扭式；
5．要备有洁净室用的液体洗涤剂、护肤膏、手吹干器或发尘量少的用完即弃
的纸巾；
6．要用发尘量少的材料如适当表面处理过的钢、铝、或质量好的塑料制作工
作台和椅子，如有可能最好用不锈钢制作。
7．洁净室工作台和椅子结构要尽量简单，不许用带垫的软椅，不许用带抽屉
和侧面围挡的工作台。
8．家具的菱角部分要做成圆角，脚部分要加橡皮或塑料做的套子。
9．器材柜的高度要便于用手搽清顶面，抽屉要安磨损少的滚珠。
10．搬运要用不锈钢、硬塑料或经适当表面处理的钢、铝合金制作；承重台要
使用特别耐磨的材料、车轮轴承要用无油密封轴承，车轮要用耐磨硬橡胶。
11．记录用纸只能用塑料纸。
12．记事板不准用普通黑板和粉笔，只能用白板和油性笔和专用抹布，并且只
能放在准备间。
13．废料桶要用不锈钢、硬塑料或经适当表面处理的钢、铝合金制作，用脚踏
式盖桶，筒中最好放一个盛废料的塑料袋。
14．对各级过滤器按照规定的内容和周期进行检查、更换和记录，而对于高效
过滤器，在出现下列任何一种情况是即应更换：
（1）气流速度降到最小限度，更换予过滤器后气流速度也不增大时；
（2）高效过滤器的阻力达到初阻力的两倍，且全部过滤器的阻力超过风机能
力时；
（3）高效过滤器出现无法修补的漏泄时；
15．更换高效过滤器时，过滤器的塑料袋只准在安装时就地启封；
16．在洁净室进行生产时，净化空调系统不得随意停止运行，因故停止运行时，
必须先通知洁净室工作人员。
17．传递窗必须选用密闭式结构。
18．传递窗的材料要用不锈钢或经过表面处理的钢、铝型材料。
三、卫生和安全
1．洁净室的清扫应在每天下班前工艺操作结束后进行；
2．清扫要在洁净室净化空调系统运行中进行；
3．清扫工作结束后，净化空调系统要继续运行，直到恢复规定的洁净度级别
为止；一般不短于该洁净室自净时间。
4．为了防止交叉污染，不同洁净度级别的洁净室有各自专用的清扫用品；扫在
一起的垃圾装入防尘袋（塑料袋）中拿出。对于从生物安全实验室扫出的垃
圾则要焚烧，使用过的清扫用具要浸渍药水消毒。
5．当采用集中式真空吸尘系统未完成洁净室清扫工作时，要限制真空系统的排
气量，以免使洁净室正压降低太多甚至成为负压。对于生物洁净室，吸尘器
的集尘袋和过滤器在取出之前要用气体灭菌，取出后装入聚乙烯袋中封好，
然后烧掉。
6．清扫用拖布、抹布不要用易掉纤维的织物材料，一般可用丝绸、尼龙绸、聚
胺脂海绵等；
7．对于高级别洁净室清扫用水不应用自来水，而应用过滤过的水。
8．洁净室清扫用洗涤剂可按每升水加入30克中性的残留物含量低的液体洗涤
剂配制而成；
9．物件搬进洁净室时，要在一般环境中用真空吸尘器初步吸尘净化，然后在准
洁净室内用真空吸尘器或搽拭方法进一步处理；在洁净室净化系统停止运行
期间，允许把大的物件搬进洁净室。
10．需要拿入洁净室的小物件，先要在准洁净室内擦拭清洁，然后装入搬运箱
内经货淋室送入。
11．准洁净区进入洁净区，低级别区进入高级别区的物件要经过传递窗送入。
12．净化空调系统启动时，禁止先开回风机；系统关闭时，禁止先停送风机；
系统未运转时，不应单独开启局部排风系统，造成洁净室负压。
13．进出洁净室应随手关门，最好设有自动关门装置。
14．对自动关闭的门和正压控制装置，应经常检查以免失灵。
15．对洁净室的消防器材、安全门、安全通道都要有醒目的指示，工作人员要
熟悉它们的位置。安全门必须保证随时可以开启，安全通道中不准堆放杂
物。
16．应经常检查洁净区的安全防火措施；
17．洁净室发生火警时，应立即发出警报，关闭风机和洁净工作台等设备，切
断电源及易燃气体通路。
四、教育训练管理
1.对洁净室工作人员特别是有关技术人员进行教育及其应掌握的洁净室知识
一般包括：
1）灰尘对产品的危害；
2）洁净室内的产品所要求的洁净度；
3）洁净室尘源及其控制；
4）工艺操作及其对洁净度的影响；
5）对洁净室、产品、工作服的洁净度测定仪器，测定方法和评价的知识；
6）净化设备和系统的使用规范、故障排除方法；
7）本洁净室的构造和性能；
8）安全措施；
9）卫生措施；
2．对洁净室工作人员进行训练的内容一般包括：
1）按规定的方法练习脱去个人服装并保管起来；
2）按规定的方法练习穿洁净工作服；
3）按规定的方法练习洗手、烘干、使用洁净室专用纸巾；
4）做不拖足行走练习；
5）做带进洁净室器材的清洁净化的练习；
6）练习使用洁净室的消防器材；
7）做从洁净室内紧急疏散的练习。
